旋轉(zhuǎn)接觸角測量儀在半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)中的應(yīng)用

更新時(shí)間：2022-07-20

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　　旋轉(zhuǎn)接觸角測量儀主要用于測量液體對(duì)固體的接觸角，即液體對(duì)固體的浸潤性，可以測量各種液體對(duì)各種材料的接觸角，而接觸角是表征材料表面潤濕行難呢過的主要手段，為了確保光學(xué)接觸角測量儀的壽命以及測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，我們在使用的時(shí)候要了解它的維護(hù)和保養(yǎng)的主要事項(xiàng)。

　　測量儀可以用于：測量光刻膠、晶圓、光伏、塑料、玻璃、陶瓷、木材、紙張、金屬等材料的的潤濕性、分析表面清潔度、活化過程的質(zhì)量保證，例如測試等離子處理后的效果、測試疏水涂料和其他涂料的效果等等。

　　接觸角測量儀應(yīng)放在清潔干燥的室內(nèi)，避免光學(xué)零件表面污損，金屬零件生銹，塵埃雜物落入運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，影響儀器性能；傳動(dòng)機(jī)構(gòu)及運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，應(yīng)定期加潤滑油，使機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)順暢，保持良好的使用狀態(tài)。

　　半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)要求品質(zhì)是非常高的，晶圓表面上的任何瑕疵污漬都會(huì)造成芯片的損失，所以需要用接觸角測量儀檢測晶圓表面潤濕性等來判斷晶圓表面是否達(dá)標(biāo)。

　　測量晶圓材料表面的鋪展、滲透、吸收等潤濕行為，測量靜、動(dòng)態(tài)接觸角、測量分析固體的表面自由能、液體的界面和表面張力、全自動(dòng)注射系統(tǒng)、前進(jìn)后退角、滾動(dòng)滑落角等功能。

　　液體界面的粘彈性和穩(wěn)定性：如乳狀液／泡沫等體系的穩(wěn)定性研究等等各種與液／流／固－體系相關(guān)的界面現(xiàn)象和過程的測量和分析等。全自動(dòng)檢測整體解決方案，可搭配至流水線上使用，提高檢測效率。

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旋轉(zhuǎn)接觸角測量儀在半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)中的應(yīng)用